可按照個(gè)人需求進(jìn)行測量的顯微鏡
無論樣品大小、簡單還是復(fù)雜,或執(zhí)行測量的人員經(jīng)驗(yàn)如何,奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。

優(yōu)異的光學(xué)性能
STM7系列采用了當(dāng)前先進(jìn)光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2光學(xué)系統(tǒng)。
因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,像差也被完全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。
花崗巖精制而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測量的可靠性
為了進(jìn)一步保證測量精度,STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達(dá)亞微米水平,并大大降低誤差。

簡單易用的高精度3軸測量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測量,Z軸方向的高精度測量也成為必須。為此,奧林巴斯開發(fā)了采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精度,此外,在安裝系統(tǒng)時(shí),奧林巴斯還提供可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
STM7解決方案
常見問題 | STM7解決方案 |
| STM7提供300 mm x 300 mm載物臺(tái),能夠測量較大的樣品,包括300 mm晶圓和印刷電路板。
X軸和Y軸測量區(qū)域長度相等,因此無需旋轉(zhuǎn)樣品 較長的X軸和Y軸測量區(qū)域允許在載物臺(tái)上排列多個(gè)樣品,實(shí)現(xiàn)更高效的測量
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常見問題 | STM7解決方案 |
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| 配備自動(dòng)對焦單元,確保測量值始終高度精確,不受操作員的影響 在“跟蹤”模式下,圖像自動(dòng)持續(xù)對焦,從而在極短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效的高度測量。同一模式的XY測量不需要手動(dòng)對焦,因此提高了效率 使用100倍物鏡時(shí),激光光斑直徑可以小到1 μm,因此可以局部使用自動(dòng)聚焦,即使是極微小的物體也適用
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